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  判斷親疏水性的核心標(biāo)準(zhǔn)是 “接觸角”—— 當(dāng)水滴落在晶圓表面，接觸角小于 90°就是親水，水會(huì)像在玻璃上一樣鋪展開(kāi)，形成均勻水膜；接觸角大于 90° 就是疏水，水會(huì)像在荷葉上一樣聚成水珠，很難鋪開(kāi)。這個(gè)簡(jiǎn)單的判斷標(biāo)準(zhǔn)，卻直接對(duì)應(yīng)著晶圓表面的化學(xué)狀態(tài)：親水表面大多富含羥基（-OH）、羧基等極性基團(tuán)，能和水分子形成氫鍵，相當(dāng)于 “和水親近”；疏水表面則以非極性基團(tuán)或單質(zhì)硅為主，無(wú)法和水分子有效作用，相當(dāng)于 “排斥水”。晶圓表面親疏水性的控制精度，直接影響濕法清洗的雜質(zhì)去除率和蝕刻工藝的均勻性，是制約先進(jìn)制程良率的關(guān)鍵因素之一。

  在半導(dǎo)體工藝中，最典型的親疏水性轉(zhuǎn)換，就藏在核心的清洗流程里 ——SC1 處理造 “親水表面”，疏水處理蒸鍍機(jī)（偶聯(lián)劑處理）造 “疏水表面”，兩者的搭配更是工藝精髓。先說(shuō)說(shuō) SC1 清洗（氨水 - 雙氧水 - 去離子水混合液）：它的核心作用是去除晶圓表面的有機(jī)污染物和金屬雜質(zhì)，同時(shí)會(huì)在硅片表面氧化形成一層極薄的氧化硅（SiO?）膜。這層氧化硅表面布滿羥基，屬于典型的親水表面，接觸角通常在 50°-70°之間。這種親水特性的好處很直接：清洗液能在晶圓表面均勻鋪展，不會(huì)出現(xiàn)清洗死角，同時(shí)后續(xù)的去離子水漂洗時(shí)，水膜能帶走殘留的污染物，讓清洗更徹底。

  還要注意，親疏水性是相對(duì)的，不是絕對(duì)的。比如同一片晶圓，在干燥環(huán)境下可能表現(xiàn)為疏水，但在高濕度環(huán)境中，表面吸附水汽后會(huì)逐漸呈現(xiàn)弱親水特性；再比如通過(guò)等離子清洗機(jī)處理，能在疏水的硅表面引入極性基團(tuán)，快速轉(zhuǎn)換為親水表面。

疏水處理蒸鍍機(jī)適用材料

 納米壓印抗粘層制備、硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、防指紋、藍(lán)寶石、晶圓、航空陶瓷新材、陶瓷介孔新材料、陶瓷纖維保溫棉、保溫棉卷材等材料。