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度

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個產(chǎn)品，

對待每一

做到極致認真

每一個零件

細
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每一組數(shù)據(jù)

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
潔凈烘箱，百級無塵烘箱
氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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精密熱板，高精度烤膠機

發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42

商品信息

精密熱板，高精度烤膠機簡介：

精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗中常見。主要應(yīng)用于科研實驗，用于最大直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝，手動上下料、自動烘烤作業(yè)。

精密熱板，高精度烤膠機技術(shù)參數(shù)：

溫度加熱范圍： 50℃-200℃；

表面溫度均勻性：

50 ~ 120℃ R≤±0.5℃

121 ~ 150℃ R≤±0.75℃

151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；

適用基片尺寸： 4、6寸晶圓及小于150mm方片；

溫度控制器：P.I.D溫度控制，高亮度4位數(shù)字LED顯示溫度；

控溫精度： 0.1℃；

配置定時器，可編程定時控制

配置真空端口，可使基片和熱板緊密接觸；

惰性氣體：可充氮氣控制